使用带有活动部件的传感器装置进行粒子检测的方法和仪器

摘要

一种检测粒子的方法和仪器。被检测的粒子可以是带电的或者是不带电的，并且粒子可以根据由于能量从运动粒子向传感器装置传递以及/或者由于传感器装置上带电粒子的累积而产生传感器装置的偏斜而被检测。传感器装置可以是或者包括一个悬臂距，该悬臂距包括一个固定端和一个自由端。粒子在悬臂距上的撞击可以引起自由端的移动。自由端的移动可以通过各种方法检测，包括判断被悬臂距反射的一束光方向的变化，检测由悬臂距的运动而引起的电子开关元件的激活，检测由于悬臂距的运动而引起的电容器上电容量的变化等等。