用于控制等离子体体积的等离子体形成内磁桶的方法和设备

摘要

一种用于在处理室内处理衬底时控制等离子体体积的等离子体限定设备，包括处理室，在处理室在引发和保持用于处理的等离子体。处理室至少部分地由室壁限定，并还包括等离子体限定装置。等离子体限定装置包括围绕处理室内的等离子体区设置的多个磁元件。磁矩阵具有多个磁元件，该磁元件被围绕等离子区域设在处理室内。磁场在处理室内建立限定磁场，即一种“磁壁”。限定磁场可按预定方式移动，以改善衬底处理系统的操作，减少因等离子体与处理系统中的其他元件的相互作用引起的损害和/或清洁问题。通过移动磁矩阵中的磁元件实现限定磁场的移动。