公开/公告号CN1410589A
专利类型发明专利
公开/公告日2003-04-16
原文格式PDF
申请/专利权人 田中贵金属工业株式会社;
申请/专利号CN01141183.X
申请日2001-09-28
分类号C23C16/00;B01D53/00;
代理机构上海专利商标事务所;
代理人章鸣玉
地址 日本东京
入库时间 2023-12-17 14:40:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2005-08-24
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2003-07-02
实质审查的生效
实质审查的生效
2003-04-16
公开
公开
2002-02-27
实质审查的生效
实质审查的生效
机译: 用于电化学汽相淀积的原始材料汽化器,电化学汽相淀积装置和使用该装置的固态电解膜形成方法
机译: 等离子体化学汽相淀积装置及采用该装置的化学汽相淀积方法及装置内部的清洗方法
机译: 带状的汽相淀积衬底的工艺,该带具有一层阻挡氧化物透明的明矾气化的蒸发反应性明矾,并使反应气体进入用于汽相淀积的设备中。