用于聚合物防反射涂料的非芳族发色团

摘要

提供了一种改善的用于生产微型器件的减光化合物。概括地说，这种减光化合物是非芳族的，可直接(用物理方法或化学方法)掺入光刻组合物如底部抗反射涂料(BARC)和电触点或通孔填充材料。本发明的优选非芳族化合物是共轭的脂族和脂环族化合物，它大大提高组合物的等离子蚀刻速率。另外，这种减光化合物可用于吸收波长较短的光。在一个实施例中，本发明的化合物可聚合成既作为组合物的聚合物粘合剂又用作吸光成分。