有机超薄阻蚀膜的复合自组装方法

摘要

有机超薄阻蚀膜的复合自组装方法是一种超薄膜制备方法,该方法以有机聚合物作为分子自组装膜的主体成分,再以小分子化合物进行填入,自组装成致密有机超薄阻蚀层;具体的组装方法为:a．将金属基底进行预处理:将金属基底放入有表面活性剂的处理液中,进行除油,然后洗涤、吹干,使表面洁净;b．在金属基底上自组装聚硅氧烷膜:将金属基底浸入有铂金属有机促进剂的聚硅氧烷组装液中进行自组装;c．填入小分子化合物:将组装了聚硅氧烷薄膜的金属基底再浸入含小分子巯基化合物的组装液中进行填入式复合组装。