具有高电感性和高品质因子的多层螺旋电感器结构

摘要

本发明提供一种多层集成电路技术所制造的高电感性和高品质因子的多层螺旋电感器结构。该电感器上层螺旋线圈的一端藉由介层窗插塞与下层螺旋线圈的一端相连接。每层螺旋线圈的连接方式可依循一组螺旋线圈连接码——下层螺旋线圈的边缘端连接中层螺旋线圈的边缘端而中层螺旋线圈的中心端连接上层螺旋线圈的中心端。因此,电流在每层螺旋线圈内流动方向是保持相同方向。该电感器结构具有愈多层螺旋线圈亦具有更高电感性。