一种快速防止预清洗室微粒污染的方法

摘要

一种快速防止预清洗室微粒污染的方法,包括一提供硅材于一预清洗室中;一提供氧气与溅射用气体至该预清洗室中的气体中;及一利用无线电波波频,将该预清洗室中的氧气与溅射用气体电离成等离子体,以使该硅成分与氧等离子体反应,形成一二氧化硅层的等离子体产生步骤。根据本发明可以达到延长预清洗室的钟型缸使用时间的目的。