一种弯曲悬臂梁执行器及其制作方法

摘要

一种弯曲悬臂梁执行器及其制作方法,属于微型电子机械系统(MEMS)技术领域。本发明包括单晶硅衬底,制作在硅衬底上的下电极、下电极压焊块、上电极、上电极压焊块、上、下电极之间的二氧化硅和氮化硅绝缘层,其技术特点是所述的上电极采用弯曲悬臂梁。该弯曲悬臂梁是由制作在硅衬底上的磷硅玻璃(PSG)牺牲层上的多晶硅层、氮化硅层构成的多晶硅－氮化硅复合微梁;本发明还提供了其制作方法,通过控制工艺条件,即在淀积多晶硅时,使多晶硅留有较小的残余应力,在淀积氮化硅时,使氮化硅留有较大的残余拉应力,从而使复合微梁翘起。与现有技术相比,本发明不仅驱动电压低,能实现较大位移,还具有能耗低,切换时间短等诸多特点,易于推广使用。