公开/公告号CN1354503A
专利类型发明专利
公开/公告日2002-06-19
原文格式PDF
申请/专利权人 三菱电机株式会社;菱电半导体系统工程株式会社;
申请/专利号CN01133014.7
申请日2001-09-13
分类号H01L21/66;G01R31/28;
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人刘宗杰;叶恺东
地址 日本东京都
入库时间 2023-12-17 14:19:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2005-01-26
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2002-06-19
公开
公开
2002-01-02
实质审查的生效
实质审查的生效
机译: 用于执行半导体集成电路测试方法的半导体集成电路的测试方法,用于半导体集成电路的测试设备,标准电路板以及用于执行测试方法的直流系统继电器
机译: 半导体集成电路装置,其测试图形生成方法,半导体集成电路装置的测试方法,以及半导体集成电路测试装置
机译: 半导体集成电路的测试装置,半导体集成电路的测试方法以及半导体集成电路的测试程序