高质量单晶制造中堆积和熔化多晶硅的方法

摘要

一种根据直拉法由不同大小的固体多晶硅源材料形成单晶硅锭的改进方法。该方法包括根据大小将每个源材料块分类,并将源材料块放到坩埚中,在坩埚中形成料堆。料块一般放置在坩埚内至少三个根据料块大小分类预选的区域内。坩埚内的料堆,在惰性环境下,升高的温度下,熔化形成熔化的源材料,然后,使坩埚和熔化的源材料的温度稳定到适于晶体生长的平衡温度。根据直拉法,从熔化的源材料中提拉单晶硅锭。另一方面,在坩埚内的环境压力高于实施温度稳定化的步骤的环境压力同时,实施熔化源材料料堆的步骤。