千兆级无边界接触的新接触形状及其制造方法

摘要

垂直于字线方向(平行于M0金属线),千兆级基本规则的无边界接触被加宽,导致所有工艺步骤的改善。借助于在矩形结构中制作另一个矩形无边界接触结构而实现这一点。缓和了工艺不对准,并降低了接触电阻且使接触电阻保持均匀。即使在不对准结构的情况下,也可得到最大允许接触面积。