用于光刻胶组合物的抗反射涂料组合物及其用途

摘要

本发明涉及一种包含在溶剂组合物中的新颖聚合物的抗反射涂料组合物。本发明还包含所述抗反射涂料组合物在照相平版印刷术中的使用方法。所述抗反射涂料组合物包含:新颖的聚合物和溶剂组合物,其中所述抗反射涂料中的新颖聚合物包含:至少一种含有吸收约180纳米至约450纳米的染料的单元,和至少一种不含芳香官能度的单元。所述溶剂可以是有机溶剂,优选的是低毒性溶剂,或者可以是水,所述溶剂另外还可以包含其它与水可混溶的有机溶剂。