用于制造BEOL布线的小接触通孔的高生产率Al－Cu薄膜溅射工艺

摘要

一种薄膜溅射工艺,其中:首先在低温和低溅射功率下,在通孔的侧壁上淀积第一Al-Cu膜,然后在高温和高溅射功率下,在该第一Al－Cu膜上淀积第二Al－Cu膜,形成填充该通孔的金属互连层。溅射是在同一溅射室内的低温和高温的两个步骤内完成的。在低温和低溅射功率下的淀积在该通孔内形成良好覆盖,在高温和高溅射功率下的淀积减少了工艺时间。