特别适于在涡轮分子泵上游、靠近并且同心使用的吸气泵

摘要

一种吸气泵它特别适于在相对涡轮分子泵而言的上游、靠近并且同心地使用,而且包括在圆筒形芯子(10)内部的一个吸气装置(20),所述吸气装置(20)由一个具有弯弯部(18,18a)的连续线圈状金属线制成,或者由一些在两个端点(22)之间相互串联的曲折形部分做成,以致于分布在一个环形周边区域中并且相对于所述芯子(10)同心,还涂覆一个粉末状非挥发吸气材料的多孔烧结层。所述芯子(10)被插入一个钢质短筒(30)中,短筒的一侧固定在待抽空小室上,而另一侧被固定在一台涡轮分子泵上。吸气装置(20)可从外界通过所述端部(22)直接供应电流。