法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2003-01-08
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
2001-04-04
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
1999-06-02
公开
公开
机译: 外延金刚石膜的基础基板,外延金刚石膜的基础基板的制造方法,由该外延金刚石膜的基础基板制造的外延金刚石膜,以及外延金刚石膜的制造方法
机译: 表观金刚石膜的基体,制造基体金刚石膜的方法,由基体金刚石膜基体制造的基体金刚石膜,以及表皮金刚石膜的制造方法
机译: 表观金刚石膜的基体,制造基体金刚石膜的方法,由基体金刚石膜基体制造的基体金刚石膜,以及表皮金刚石膜的制造方法