作为合成酚醛清漆树脂的催化剂的酸性离子交换树脂和由该树脂制得的光刻胶

摘要

本发明提供了一种使用固体酸缩合催化剂来制备酚醛清漆树脂的方法,该树脂不溶于水、溶于碱水溶液,具有一致的分子量和非常低的金属离子含量。还提供了用这种酚醛清漆树脂生产低金属离子含量的光刻胶组合物的方法,和用这种光刻胶组合物生产半导体装置的方法。