法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2005-01-26
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
1999-12-29
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
1998-11-18
公开
公开
机译: 在大面积平面基板,纤维和纺织品上制造基于玻璃的纳米结构的方法和系统
机译: 用于显示制造的基板上的自动临界尺寸测量的方法,检查大面积基板的用于显示制造的大面积基板,用于检查大面积基板的装置,用于显示制造和操作方法
机译: 用于显示制造的基板上的自动关键尺寸的测量方法,用于显示制造的大面积基板的检查方法,用于显示制造的大面积基板的检查装置及其操作方法