法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-05-24
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/8242 授权公告日:20040519 终止日期:20160331 申请日:19980331
专利权的终止
2016-02-03
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/8242 登记生效日:20160111 变更前: 变更后: 申请日:19980331
专利申请权、专利权的转移
2013-03-27
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/8242 变更前: 变更后: 登记生效日:20130227 申请日:19980331
专利申请权、专利权的转移
2004-05-19
授权
授权
2000-06-07
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
1998-10-28
公开
公开
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机译: 在通道区域中具有掺杂剂掺杂物轮廓的半导体器件及其制造方法
机译: 在通道区域中具有掺杂剂掺杂物轮廓的半导体器件及其制造方法
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