直流等离子体寻址结构中用于阴极电极的具有增强电子发射的抗溅射导电涂层

摘要

导电的难熔化合物的电极涂层,该涂层抗溅射、耐氧化并通过电泳或丝网印刷方式易于涂敷。利用非导电陶瓷材料的表面粒子的存在,进一步增强了这种结构。当激励阴极时,非导电材料被电场穿透,该电场拉出阴极的二次电子,从而提高了作为二次电子发射体的阴极的效率。更具体地说,阴极用于等离子体导址结构。涂层由直径大约5nm的颗粒构成,各颗粒通过电泳或“丝状”丝网把导电的和非导电的颗粒与第一颗粒同时淀积而构成熔化的母体。接着烘焙涂层,熔化熔料并把电泳淀积的颗粒粘接在电极上。