能量陷获压电器件及其制造方法

摘要

本发明涉及一种能量陷获压电器件和其制造方法,这种压电器件这样构成,在压电板上设置能量陷获凸块,将顶部电极划分成激励电极和虚拟电极,在所划分的电极之间提供非常小的间隙,电极相互间是电绝缘的,厚度方向振动通常不反射,厚度方向振动所造成的振动能量基本上被陷获到压电板上所提供的凸块中。本发明的压电器件能进行无限制的自由电极设计,电极材料的选择范围广,能拟制不必要的寄生、具有低阻抗和较高的频率。