法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2003-04-30
发明专利申请公布后的视为撤回
发明专利申请公布后的视为撤回
1997-11-26
公开
公开
1997-11-12
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
机译: 改进的倾斜入射角沉积装置,使用相同的制造非反射性光学薄膜的方法以及非反射性光学薄膜
机译: 具有可变折射率的入射角,自适应入射角的光学芯片及其制造方法
机译: 光学薄膜及其制造方法,包括光学薄膜的光学多层膜,光学部件,曝光装置以及包括具有光学膜的光学部件的曝光方法