使非平面层平面化的方法

摘要

一种使非平面层平面化的方法，包括下列步骤：(a)在非平面上面形成第一层；(b)在介电层的上面加播种层；(c)在播种层的上面形成光刻胶层；(d)使光刻胶层的一些部分形成图案且将其部分地去除，由此使播种层的上表面的一些部分暴露出；(f)去除剩余的光刻胶层直到位于其下的播种层被暴露出来；(g)以下述方式去除仍残留的光刻胶部分、突出在介于导电层之间的播种层和第一层的部分，也即，使第一层中的突起完全被作；以及(h)去除导电层及其下面的播种层。