法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
1998-09-09
专利申请的驳回
专利申请的驳回
1996-09-25
公开
公开
1996-08-28
实质审查请求的生效
实质审查请求的生效
机译: 在字迹中形成图案数据的装置和在字迹中形成图案数据的方法
机译: 光刻设备,一种设备制造方法以及一种将图案施加到基质上的方法,该方法能够将图案转移到图案形成设备上的基质上
机译: 一种用于制造图案的方法,该方法具有通过该方法产生的支撑物将图案施加在物体上的方法,该方法用于将图案施加到物体上,然后提供具有图案的物体