法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-08-10
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/318 授权公告日:20121003 终止日期:20150615 申请日:20070615
专利权的终止
2012-10-03
授权
授权
2012-01-04
著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/318 变更前: 变更后: 申请日:20070615
著录事项变更
2009-09-23
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-07-29
公开
公开
机译: 使用氮等离子体原位处理和非原位紫外线固化来增加氮化硅拉伸应力的方法
机译: 氮等离子体原位处理和紫外光固化增加硅氮化物拉伸应力的方法
机译: 氮等离子体原位处理和紫外光固化增加硅氮化物拉伸应力的方法