具有梯度基层的多层抗反射涂层

摘要

本发明公开了一种抗反射涂层，该涂层包括组成在整个层厚度上变化从而使该梯度层的折射率从在该梯度层和该基体的界面处的与该基体的折射率大约相匹配的低折射率变化到在与该基体的界面相对的该梯度层的表面处的较高折射率的第一层和基本上均匀的第二层，该第二层的组成被选择成使其折射率约等于在较高数值下的该梯度层的折射率在与该第二层和该梯度层的界面相对的第二层表面处的入射介质的折射率的积的平方根。该反射层的光学厚度至少为所选择的设计波长的四分之一。