轮廓测量用接触式位移传感器

摘要

本发明涉及一种传感器。它采用反射型柱面全息衍射光栅，传感器的触针位移用干涉信号的脉冲当量来瞄述，干涉信号的脉冲当量为光栅常数的一半，它不随入射光波长的变化而变化，因此具有较短的干涉光路，有宽的动态范围，解决了任意曲面表面粗糙度测量困难，并可进一步用于形状误差、浓度及粗糙度和综合测量。本发明结构简单，成本低，易于商品化。