基于STM32单片机的非接触式两自由度位移传感器设计

摘要

本文设计了一种非接触式的两自由度位移传感器,基于STM32系列MCU搭建硬件控制平台,并编写相应代码,使用三组TI公司的电感数字转换器(LDC)作为检测手段,并设计三组异形PCB板载电感线圈.在此基础设计上完成传感器的外形设计与组装调试,经实验验证此传感器能在非接触前提下对垂直方向线位移测量的分辨率达到0.2微米,围绕圆心旋转角位移测量的分辨率达到0.02毫弧度.为非接触式测量手段提供了新的方案.