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金刚石红外增透保护薄膜及制备工艺

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摘要

用人工化学气相沉积技术制备的金刚石多晶薄膜可以作为红外增透保护膜，其硬度为6000～10000kg/mm

1. 金刚石红外增透保护薄膜及制备工艺 [P] . 中国专利： CN1094455A . 1994-11-02
2. 一种用于红外光学窗口表面的高硬度SiCN增透保护薄膜及其制备方法 [P] . 中国专利： CN114107890A . 2022-03-01
3. Switchable infrared filter for e.g. protecting infrared detectors, has carrier material with diamond foil having thickness of about ten to forty micrometers and very small thermal capacity, where foil is coated with dielectric layer [P] . 德国专利： DE102005011723B3 . 2006-08-24

机译：可切换的红外滤光片，例如保护性红外探测器，其载体材料由金刚石箔制成，厚度约为十至四十微米，并且热容量非常小，其中箔涂有介电层
4. Infrared detector utilizing diamond film [P] . 美国专利： US5406081A . 1995-04-11

机译：利用金刚石薄膜的红外探测器
5. Infrared detector utilizing diamond film [P] . 美国专利： US5298749A . 1994-03-29

机译：利用金刚石薄膜的红外探测器