激光直接写入式集成电路制造系统

摘要

一种激光直接写入系统，在光束扩展器入口处使激光束扫描。光束扩展器减小由机械式扫描器件形成的扫描角和误差。其输出端较小的扫描角与激光直接写入式半定制集成电路制造系统能很好地配合。扫描误差的减小使得在该集成电路表面上聚焦的激光光点的位置精度更高。