激光直接写入系统中的光功率稳定控制

摘要

激光光功率控制对激光加工技术极为重要，本文介绍了在激光直写系统中用于光功率控制的声光调制器件并根据光强稳定度要求分析结出了调制器的结构参数和相关的控制电路。接控制原理及调制器参数设计并实现的声光调制系统获得了好的光强控制效果。受控前He-Cd激光器输出光强稳定度为15％，控制后一级衍射光光强稳定度达0.2‰。