锗硅红外光学镜头镀类金刚石碳膜

摘要

本工艺发明属于在锗硅光学镜头(片)上镀红外超硬膜技术。是在溅射机中，充入丁烷和氩气的混合气体，选择适当的射频电压产生辉光放电，使混合气体电离，在电场作用下，使正离子撞击到负电极上沉积薄膜的方法，从而使锗硅镜头(片)上获得类金刚石超硬膜。; 本发明所镀制出的膜属类金刚石碳膜，它具有机械强度高，耐磨性能好，红外光学特性优良，且适于镀制大面积光学透镜等优点。适用于一切红外光学镜头(片)及光学仪器窗口材料的镀制。