锗/硅红外光学镜头(片)镀类金刚石碳膜的方法

摘要

本发明涉及在锗/硅光学镜头(片)上镀红外超硬膜技术，具体的就是镀类金刚石碳膜，该方法是在射频溅射机中，首先用氩离子束轰击基片以净化其表面，然后充入氩气和丁烷的混合气体，选择适当的射频电压产生辉光放电，使混合气体电离，在电场作用下，使正碳离子撞击置以水冷负电极上的基片表面以沉积薄膜，从而获得类金刚石碳膜。用本发明方法所得的类金刚石碳膜，具有机械强度高，耐磨性能好，红外特性优良，且适于镀制大面积光学透镜等优点。适用于一切红外光学镜头(片)及光学仪器窗口的镀膜。