Инфракрасная спектроскопия алмазоподобных кремний-углеродных пленок

摘要

Выполнены первые измерения инфракрасных спектров металлосодержащих алмазоподобных' кремний-углеродных пленок,. Показано, что оптический отклик подсистемы свободных носителей заряда в металлосодержащих (хром) пленках может быть описан в рамках простой модели, рассматривающей носители, локализованные внутри кластеров размером несколько нанометров. Полученные результаты свидетельствуют о возможности управления электрическими и диэлектрическими свойствами пленок с помощью технологических методов их синтеза и соответствующего контроля за размерами, концентрацией и проводимостью металлических нанокластеров.