公开/公告号CN86108227A
专利类型发明专利
公开/公告日1987-07-15
原文格式PDF
申请/专利权人 斯塔米卡本公司;
申请/专利号CN86108227
申请日1986-12-18
分类号B01J2/04;
代理机构中国专利代理有限公司;
代理人崔幼平
地址 荷兰赫伦·米杰恩路1号
入库时间 2023-12-17 11:53:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
1989-11-15
被视为撤回的申请
被视为撤回的申请
1987-07-15
公开
公开
机译: 连续熔化和蒸发固体材料的系统和方法,气相沉积涂层系统,连续送入电极,电弧放电设备。通过气相沉积涂层产生电弧放电以电离气相涂层的方法。通过汽相沉积测量涂层系统中蒸发器的电离度和蒸发速率,并去除附着在真空镀膜上的真空室中沉积的材料。
机译: 汽相沉积掩模,汽相沉积掩模装置,汽相沉积掩模制造方法和汽相沉积掩模装置制造方法
机译: 汽相沉积掩模,汽相沉积掩模组,汽相沉积掩模组制造方法,汽相沉积掩模组制造方法和显示装置制造方法