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用于对用于弧形X射线光栅的阳极元件的阳极氧化的设备和方法、用于产生弧形X射线光栅的系统以及弧形X射线光栅

摘要

本发明涉及一种用于对用于弧形X射线光栅的阳极元件的阳极氧化的设备,所述设备(10)包括:阳极元件(12);阴极元件(14);电解介质(16);导体元件(18);以及载体元件(20);其中,所述阳极元件(12)包括第一侧面(11)和第二侧面(13),其中,所述第二侧面(13)背对着所述第一侧面(11);其中,所述载体元件(20)包括沿着围绕曲率中心(30)的圆弧延伸的弧形表面截面(21);其中,所述载体元件(20)被配置为接收所述阳极元件(12)的所述第二侧面(13)以用于将所述导体元件(18)附接到所述阳极元件(12)的所述第一侧面(11);其中,所述弧形表面截面(21)被配置为在从所述载体元件(20)卸下所述阳极元件(12)的所述第二侧面(13)之后接收所述导体元件(18);其中,所述电解介质(16)被配置为连接所述阳极元件(12)与所述阴极元件(14);其中,所述阴极元件(14)连同所述阳极元件(12)和所述电解介质(16)一起被配置为生成定义平面(31、33、35、37、39)的至少一组电场线(26),其中,所述组电场线的至少笔直外延(32)与所述曲率中心相交,其中,对所述至少一组电场线(26)的所述生成导致对所述弧形表面截面(21)上的所述阳极元件(12)的阳极氧化。本发明提供了一种避免损坏光栅结构和得到低良率的风险的设备(10)。

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    法律状态

  • 2020-08-28

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