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钇铁石榴石薄膜结构及制备方法

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摘要

钇铁石榴石薄膜结构，属于电子材料领域，它特别涉及钇铁石榴石薄膜材料的射频磁控溅射制备方法。本发明包括Si基片和其上的钇铁石榴石薄膜层，在Si基片和钇铁石榴石薄膜层之间还有CeO

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-06-25

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C30B 29/28 授权公告日:20121031 终止日期:20130428 申请日:20080428

专利权的终止
2012-10-31

授权

授权
2011-05-11

实质审查的生效 IPC(主分类):C30B 29/28 申请日:20080428

实质审查的生效
2008-11-26

公开

公开

1. 钇铁石榴石薄膜结构及制备方法 [P] . 中国专利： CN101311374B . 2012.10.31
2. 一种从赤泥中提取钇铁石榴石、钇铝石榴石和钇镓石榴石的方法 [P] . 中国专利： CN110028105B . 2021.05.04
3. Method of preparation of powders of yttrium garnet and iron as well as ferrites with structure type spindelle stoichiometric composition [P] . 法国专利： FR1433249A . 1966-03-25

机译：具有结构型尖晶石化学计量组成的钇石榴石和铁以及铁氧体粉末的制备方法
4. YTTRIUM IRON GARNET FERRITE, MICROWAVE COMPONENT INCLUDING SAID FERRITE AND PROCESSES FOR MANUFACTURING SAID FERRITE AND SAID COMPONENT. [P] . 欧洲知识产权局专利： EP2622613A1 . 2013-08-07

机译：钇铁石榴石铁素体，包括所说的铁素体的微波成分以及制造所说的铁素体和所说的成分的方法。
5. YTTRIUM IRON GARNET FERRITE, MICROWAVE COMPONENT INCLUDING SAID FERRITE AND PROCESSES FOR MANUFACTURING SAID FERRITE AND SAID COMPONENT. [P] . 世界知识产权组织专利： WO2012042168A1 . 2012-04-05

机译：钇铁石榴石铁素体，包括所说的铁素体的微波成分以及制造所说的铁素体和所说的成分的方法。