一种硅片快速脱胶装置及脱胶工艺流程

摘要

本发明涉及硅片生产制造领域的一种硅片快速脱胶装置及脱胶工艺流程，主框架的后面位于底座上设置有出口，主框架的下面并位于进口和出口之前配合安装有硅片脱胶装置；进口处设置有进料输送装置，出口处设置有出料输送装置；主框架的内部并位于两侧的内壁上配合设置有输送轨道，输送轨道上配合设置有吊装组件；吊装组件通过输送轨道进行前后移动；该发明能够对硅片的残留的胶进行360°全方位无死角的清理，同时能够全面实现自动化，提高工作效率；与此同时提供一种脱胶工艺流程，通过优化传统的流程，确保硅片质量的同时，提高硅片脱胶的效率，降低硅片脱胶占整个生产流程的时间，降低成本。