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用于对被测器件进行测试的具有汇流条机构的探针台

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摘要

本发明公开了一种用于测试被测器件(106)的测试系统(102)的探针台(100)，其中，所述探针台(100)包括用于将电信号传送至以及离开被测器件(106)的汇流条机构(104)。

公开/公告号CN111579955A

专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-25

原文格式PDF
申请/专利权人英飞凌科技股份有限公司;
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申请/专利号CN202010078415.6
发明设计人 A·格诺伊佩尔;
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申请日2020-02-03
分类号G01R31/26(20140101);G01R31/28(20060101);G01R1/073(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构72002 永新专利商标代理有限公司;
代理人邬少俊
地址德国瑙伊比贝尔格市
入库时间 2023-12-17 11:41:09

1. 用于对被测器件进行测试的具有汇流条机构的探针台 [P] . 中国专利： CN111579955A . 2020-08-25
2. 测试机以及用于校准探针卡与待测器件的方法 [P] . 中国专利： CN111239448A . 2020-06-05
3. Probe station for measuring characteristics of silicon wafer, includes chuck for supporting device under test and platen for supporting probe for testing DUT [P] . 德国专利： DE20221050U1 . 2005-01-20

机译：用于测量硅片特性的探针台，包括用于支撑被测器件的卡盘和用于支撑被测器件的探针的压盘
4. Probe station for measuring characteristics of silicon wafer, includes chuck for supporting device under test and platen for supporting probe for testing DUT [P] . 德国专利： DE20221050U1 . 2004-12-16

机译：用于测量硅片特性的探针台，包括用于支撑被测器件的卡盘和用于支撑被测器件的探针的压盘
5. Semiconductor device featuring probe area definition mark for defining probe area in electrode pad, and proof test system for proving proper contact of test probe with probe area [P] . 美国专利： US2006170105A1 . 2006-08-03

机译：半导体器件具有用于在电极焊盘中定义探针区域的探针区域定义标记，以及用于证明测试探针与探针区域正确接触的验证测试系统