晶片表面曲率确定系统

摘要

一种用于对晶片(2)的表面(20)的曲率(200)进行原位测量的系统(1)，所述系统(1)包括：多波长光源模块(101)，适于发射包括多个波长(301；302；303)的入射光(3)；光学装置(104)，被配置为将所述入射光(3)组合成单个光束(5)，并朝向晶片(2)的表面(20)引导所述单个光束(5)，使得所述单个光束(5)在所述表面(20)上的单个测量光斑(202)处撞击表面(20)；以及曲率确定单元(103)，被配置为根据与在所述单个测量光斑(202)处在所述表面(20)上被反射的所述单个光束(5)相对应的反射光(4)，确定所述晶片(2)的所述表面(20)的曲率(200)。