一种材料表面拓扑结构分级定量分析方法及应用

摘要

本发明属于图像处理及材料表面拓扑结构分析技术领域，公开了一种材料表面拓扑结构分级定量分析方法及应用，通过图像处理技术获取扫描电镜高分辨图像中像素点的灰度值信息，通过分析图像中各个像素点的灰度特征就可以对样品的表面形貌进行多尺度的定量分析及不同尺度下的表面粗糙度分析。在本发明能快速对材料表面形貌结构进行大尺度、微米尺度和纳米尺度的分级定量统计分析，获得复杂表面每个尺度结构特征精确定量的结构信息，实现复杂结构表面的多尺度定量分析，并获得多尺度粗糙度分析结果，减少大尺度结构在常规统计分析方法中对小尺度结构的掩盖作用，从而实现复杂表面的精确定量的多尺度分析。本发明的方法适用范围广、可操作性强。