一种可快速响应的冷阴极平板脉冲X射线源及制备方法

摘要

本发明公开了一种可快速响应的冷阴极平板脉冲X射线源，包括金属阳极基板和冷阴极电子源基板，所述金属阳极基板和冷阴极电子源基板之间保持真空间隙，所述冷阴极电子源基板中，包括绝缘衬底、底部条状阴极电极、在绝缘衬底上刻蚀的刻蚀通孔、顶部阴极电极、顶部环状栅极电极以及纳米冷阴极。同时公开了一种可快速响应的冷阴极平板脉冲X射线源的制备方法，本发明的冷阴极平板脉冲X射线源制备工艺简单，具备快速响应能力。