一种晶圆单元凸块防脱落的方法及晶圆单元

摘要

本申请公开了一种晶圆单元凸块防脱落的方法及晶圆单元，所述晶圆单元包括晶圆，所述晶圆上形成有凸块下金属层，所述凸块下金属层上生长有凸块；所述方法包括：对所述晶圆单元加热到预定温度；并以等离子体态的氮气作为工作气体；至少使凸块下金属层的裸露边缘形成金属氮化物，通过该方法将晶圆单元的凸块下金属处理形成金属氮化物隔离层，对下金属层进行保护，防止凸块的脱落。