具有缩小尺寸的微机械谐振器

摘要

提供了一种微机械谐振器，该微机械谐振器能够实现较小的总体封装尺寸并具有用于定时应用的可接受的质量因数。该MEMS谐振器包括振动部分，该振动部分具有基部和从基部延伸的三个或更多个振动梁。此外，该MEMS谐振器包括框架和一对锚固件，该框架围绕振动部分的周缘，所述一对锚固件位于振动梁之间以用于将振动部分稳定在框架内。此外，支承梁将振动部分的基部联接至所述一对锚固件。