公开/公告号CN111596549A
专利类型发明专利
公开/公告日2020-08-28
原文格式PDF
申请/专利权人 杭州国彪超声设备有限公司;
申请/专利号CN202010557741.5
发明设计人 周丽娟;
申请日2020-06-18
分类号G05B13/04(20060101);
代理机构33272 杭州奥创知识产权代理有限公司;
代理人王佳健
地址 310018 浙江省杭州市经济技术开发区6号大街260号15幢二层
入库时间 2023-12-17 11:32:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-08-28
公开
公开
机译: 用于使用系统控制方法执行系统控制方法的程序存储介质,该系统控制方法使用用于鲁棒稳态目标计算的模型预测控制,用于鲁棒稳态目标计算的模型预测控制以及控制器和系统控制器
机译: 用于光刻法的无抖动自适应鲁棒剂量控制方法
机译: 用于光刻法的自由自适应剂量控制和鲁棒剂量控制方法