首页> 中国专利> 一种二硫化钼纳米带及其制备方法、场效应晶体管的电极材料

一种二硫化钼纳米带及其制备方法、场效应晶体管的电极材料

摘要

本发明涉及无机纳米材料技术领域,具体涉及一种二硫化钼纳米带及其制备方法、场效应晶体管的电极材料,所述二硫化钼纳米带的制备方法,包括以下步骤:在还原氛围的气流中,将硫氰酸盐置于所述气流的上游端,将钼酸盐置于所述气流的下游端,并在所述钼酸盐的上方悬空设置一衬底,接着在150~600℃下煅烧45‑90min。本发明采用气相沉积法在SiO2衬底直接合成了二硫化钼纳米带,该二硫化钼纳米带具有金属性边界,其开电流能≥90μA/μm;跨导≥4μS/μm,载流子迁移率≥100cm2/(V·s),开关比≥108,可作为场效应晶体管的电极材料。

著录项

  • 公开/公告号CN111540786A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2020-08-14

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 皖西学院;

    申请/专利号CN202010406348.6

  • 申请日2020-05-14

  • 分类号H01L29/78(20060101);H01L29/40(20060101);H01L29/43(20060101);B82Y30/00(20110101);

  • 代理机构11283 北京润平知识产权代理有限公司;

  • 代理人刘兵

  • 地址 237012 安徽省六安市云露桥西月亮岛皖西学院

  • 入库时间 2023-12-17 11:32:46

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-08-14

    公开

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