大气环境中不规则固体材料表面元素分布的无损分析方法

摘要

本发明涉及一种大气环境中不规则固体材料表面元素分布的无损分析方法，包括如下步骤：将样品固定，检测样品的位置和表面特征并生成样品立体几何模型；根据样品的立体几何模型选择待测样品所需分析的空间范围或模型的表面区域；设置测量参数、检测装置的运行轨迹和检测位点和可达微米级的X射线聚焦的光斑直径；根据设定的运行轨迹上的每个分析点的元素特征谱线，给出选定所需了解的元素的含量，并根据所测面或整个固体样品表面上每个点的元素含量获得该样品所测表面、待测区域或完整样品表面的元素含量的表面空间分布特征。本发明的分析方法，能够达到无损分析的效果，无需对样品抽真空即可进行检测，适用于多种环境下固体材料的表面元素分析。