基于结合面虚拟材料法的扫描电子显微镜结构建模方法

摘要

本发明公开了一种基于结合面虚拟材料法的扫描电子显微镜结构建模方法，该方法采用虚拟材料法对扫描电子显微镜进行结合面的动力学建模，通过引入一个虚拟材料来代替复杂的结合面区域，将结合面的非线性振动问题绕开，替换为一个虚拟材料层，通过材料参数表达结合面的动力学特性，有效避免了扫描电子显微镜上不同形式的结合面复杂的连接方式及多种影响因素对整体结构的振动特性影响严重的问题，最终得到的扫描电子显微镜整体结构的动力学模型更接近真实结构，建模精度大大提高，且整个方法过程更加简单，可行性更强。