一种集成电路测试系统时间参数校准方法及校准装置

摘要

本发明属于集成电路测试系统校准技术，为一种集成电路测试系统时间参数校准方法及校准装置。该校准方法通过测量集成电路测试系统测试通道多种指标分量，包括通道间同步偏差时间，通道传输延迟时间等分量。根据分量的测量数值结果进行计算，可以通过时间参数测量误差量化计算方法定量分析并计算出测试系统在进行集成电路时间参数测量过程中所引入的系统偏差。该系统偏差值可以进行量值修正以提升集成电路时间参数测量结果的准确度。该装置由同步偏差时间测量装置、通道切换装置、测量适配器组成等部分组成。本发明所提供的校准方法具有较高的适应性和多通道测量能力，校准装置具有精度高，自动化程度高等特点。