基于标准样片的集成电路测试系统校准装置架构设计

摘要

本文通过构建基于标准样片的集成电路测试系统校准模型、基于虚拟仪器的实现技术、校准装置硬件组成、校准接口板等几个步骤，成功设计出基于标准样片的集成电路测试系统校准装置架构。经过试验证明，基于该架构可以构建出基于标准样片的集成电路测试系统校准装置，并完全满足设计目标。基于标准样片的集成电路测试系统校准装置具有通用、便携、自动化、高集成度等特点，具有很高的应用价值，填补了国内空白，一定程度上提高了微电子计量的技术水平。