使用牺牲层形成电容器

摘要

本发明描述与使用牺牲材料形成电容器有关的方法、设备及系统。实例性方法包含在衬底上形成第一硅酸盐材料。所述方法进一步包含在所述第一硅酸盐材料上形成第一氮化物材料。所述方法进一步包含在所述第一氮化物材料上形成第二硅酸盐材料。所述方法进一步包含在所述第二硅酸盐材料上形成第二氮化物材料。所述方法进一步包含在所述第二氮化物材料上形成牺牲材料。所述方法进一步包含穿过所述第一硅酸盐材料、所述第一氮化物材料、所述第二硅酸盐材料、所述第二氮化物材料及所述牺牲材料形成电容器材料柱。所述方法进一步包含移除所述牺牲材料以暴露所述电容器材料的顶部部分。